集微网消息，近日，晶洲装备湿制程智能装备生产基地通过竣工验收。
晶洲装备本次投产的湿制程智能装备生产基地位于江苏省常熟市高新技术产业开发区辛庄工业园，占地,000平方米，具备年度0台以上中大世代设备的交付能力。
晶洲装备自2011年成立以来，一直专注于平板显示、光伏、半导体领域的高精密湿制程装备的生产及研发，产品主要包括高精密清洗、湿法刻蚀、光阻剥离、显影等高端湿制程设备，至2021年6月平板显示工艺制程设备累积交付逾200台/套；已交付量产设备对应基板尺寸涵盖g2.5~g8.6。 （校对/若冰）
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